Наше предприятие и производимое оборудование сертифицированы по ISO 9001.
Гарантия: от 1 года. Доставка: по РФ и СНГ. Цены: ниже конкурентов в среднем на 18%

Стоимость установки: 286 800 USD включая НДС 18%

Установка магнетронного напыления FXPVD-6560

Электронно-дуговое испарение или Arc-PVD (катодно-дуговое осаждение) - это напыление методом физического осаждения из газовой фазы испарением материала в электрической дуге. Испаренный материал осаждается на подложке, формируя тонкопленочное покрытие. Данная технология используется для нанесения металлических, керамических и композитных покрытий.

Электронно-дуговое испарение используется для нанесения упрочняющего покрытия для защиты поверхности режущих инструментов и значительного увеличения износостойкости. Данная технология позволяет наносить широкий спектр сверхтвёрдых и нанокомпозитных покрытий, включая TiN, TiAlN, CrN, ZrN, AlCrTiN, TiAlSiN.

Общие характеристики

1) Вакуумная система:

Управление вакуумной системой: ручное и автомат по выбору оператора.
Предельный вакуум: 5х10^-4 Па.
Время откачки от атмосферного давления до 9.9×10^-3Пa: ≤10 мин.

Примечание: т.к. присутствует газовыделение со стенок камеры и с подложки, то работа насосов продолжается и во время рабочего цикла

2) Время нанесения:

Время нанесения: ~15-30 мин после откачки, охлаждения и очистки, в данное время не включены время загрузки и выгрузки подложек

Примечание: время напыления зависит от подложек, процесса напыления, материала напыления.

3) Метод нанесения: ионно-дуговое напыление

4) Метод управления: программируемый логический контроллер (ПЛК) с сенсорным экраном управления

5) Вес: 3000 кг (без учета охлаждающей воды и устройств интерфейса)

Эксплуатационные характеристики

Потребляемая мощность ~ 50 кВА

Напряжение 380 В, 3ф, 50 Гц (4 провода для питания +1 провод заземления)

Габариты готовой установки

Описание составных частей установки FXPVD - 6560

№	Наименование
1	Высоковакуумный турбомолекулярный насос 1600 Turbo Pump: Производитель: KYKY Производительность: 1600 л/с Скорость вращения ротора: 21000 об/мин Кол-во: 1 шт Примечание: двойные керамические подшипники; стабильная работа; хорошее ударное сопротивление
2	Форвакуумный насос ORV40 Monoblock Pump: Производитель: KYKY Производительность: 40 м3/час Мощность: 1,5 кВт Кол-во: 1 шт Примечание: низкие шум и вибрация; высокая надежность; простое в обслуживании
3	Поддерживающий насос ORV30 Monoblock Pump: Производитель: KYKY Производительность: 30 м3/час Мощность: 1,5 кВт Кол-во: 1 шт Примечание: низкие шум и вибрация; высокая надежность; простое в обслуживании
4	Насос Рутса RTO-70 Roots pump Производитель: KYKY Производительность: 70 л/с Мощность: 1,1 кВт Кол-во: 1 шт
5	Вакуумная камера Изготавливается под заказ Габариты: диаметр 650мм, высота 600 мм Материал: AISI 304 нержавеющая сталь Фронтальная дверь: 1 шт Вращающаяся ось(вращающийся вал) карусели: 1 шт Система нагрева: 1 компл. Смотровое окно:1 шт Катодная мишень :4 шт Карусель для загрузки изделий: 2 шт Материал карусели для загрузки изделий: AISI 304 нержавеющая сталь
6	Система вращения карусели Изготавливается под заказ Карусель для загрузки изделий свободно вращается вокруг своей оси, как по часовой так и против часовой стрелки. Электродвигатель переменного тока управляется инвертором (постепенное ускорение, скорость 0..12 об/мин, вращение по часовой и против часовой стрелки) *технологическая оснастка согласовывается с заказчиком при заказе
7	Система нагрева Максимальная температура нагрева 400 ПИД–контроллер температуры
8	Вакуумные клапаны Материал: AISI 304 нержавеющая сталь
9	Комплект вакуумной арматуры Клапана, прочие переходники, конструктивные элементы Материал: AISI 304 нержавеющая сталь
10	Регулятор расхода газа (РРГ) Производитель: Seven Star Кол-во: 4 шт Четырех-канальный РРГ на поток 600 (размерность л/ч)-3 шт РРГ на поток 100 л/ч-1 шт
11	Вакуумный блок управления и индикации: Изготавливается под заказ Кол-во:1 шт Цифровой блок управления и индикации вакуумной системой
12	Блок управления и индикации РРГ: Изготавливается под заказ Кол-во:1 шт Цифровой блок управления и индикации РРГ
13	Магнетронный источник (катодная мишень): Изготовитель: Foxin Кол-во: 4 шт Охлаждаемый корпус
14	Мишень: Кол-во: 4 шт Материал: Ti Габариты: диаметр 100мм, высота 40 мм
15	Блок питания магнетрона: Изготовитель: Yexu Кол-во: 4 шт Ток: 200 А
16	Блок питания смещения напряжения: Изготовитель: Yexu Кол-во: 1 шт Мощность: 30 кВт
17	Система автоматизированного управления вакуумной установкой: Изготовитель: Mitsubishi Изготовитель сенсорного экрана: Kunlun Tongtai Изготовитель остальных электрических узлов: Siemens
18	Вакуумметры:
19	Сборка, поставка, пуско-наладка и шеф-монтаж установки. Исполнитель: ERSTEVAK Ltd.
Услуги, включенные в стоимость: Ввод в эксплуатацию Обучение персонала Гарантия 12 месяцев с момента ввода в эксплуатацию, но не более 18 месяцев с даты отгрузки. Эксплуатационная документация на русском языке, в том числе, руководство по эксплуатации
Условия поставки Монтажные, складские, страховые услуги, таможенное оформление.
ИТОГО стоимость установки		*286 80*0,00 долларов США

Технологические процессы, которые заложены в систему управления установкой:

*согласуется на стадии заказа с Заказчиком

Чтобы заказать установку нанесения тонких пленок, свяжитесь с инеженерами компании по телефону с 9:00 до 18:00 по Москве или напишите письмо на действующий Email: info@erstvak.com

Подобрать оборудование по применению

Почему с нами интересно и выгодно работать

Гарантия качества

Мы занимаемся продажей оборудования только от проверенных производителей. Гарантия качества предоставляется непосредственно нашей фирмой.

Честные цены

Низкие цены на поставляемое оборудование обусловлены крупными партиями поставок и налаженными эксклюзивными отношениями с постоянными поставщиками.

Доставка по всей России

Налаженное партнерство с лидерами рынка транспортных услуг: Автотрейдинг, Желдорэкспедиция, Байкал-Сервис, Деловые линии.

Качество консультаций и подбор оборудования

У нас работают высококвалифицированные специалисты с профильным образованием, это позволяет получить компетентные и качественные консультации.

Гибкая складская программа

При необходимости мы можем корректировать ее непосредственно под Ваши задачи. Возможность быстрого выкупа оборудования со склада в Москве.

Пунктуальность

Слаженная работа логистического отдела и отлаженные системы поставок, позволяют нам всегда поставлять оборудование в запланированный срок.