1x10^(-11) – с Цилиндром Фарадея, 2x10^(-14) – с канальным электронным умножителем
Максимальная скорость измерения
1000 измерений в секунду
Ионный источник
Радиально-симметричный источник ионов, совместимый с UHV
Нить накаливания
Двойная нить накаливания IrO2
Возможность управления источником ионов
Эмиссия электронов: программная переменная от 1 мкА до 2 мА, Энергия электронов: программная переменная от 0 до 150 эВ, Энергия ионов: программная переменная от 0 до 10 эВ
Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 1:200 а.е.м - зона I,
1:20 а.е.м - зона H
Тип детектора: Канальный цифровой детектор с электронным умножителем для подсчета импульсов
Квадрупольный масс-спектрометр EXTORR RGA XT100M с умножителем
Тип:
Квадрупольный
Производитель:
EXTORR Inc.
Минимальное определяемое парциальное давление газа, Торр: 10-11
Диапазон регистрируемых масс, а.е.м.: 1-100
Максимальная рабочая температура датчика, °C: 70
Чувствительность (EM), А/Торр: 5*10^-4
Тип детектора: Пирани, Байарда-Альперта, ионизационный;