Top.Mail.Ru
Установка ионно-лучевой полировки, травления, фрезеровки и нанесения покрытий (4 в 1) OPTO-EDU A50.7038 купить по цене производителя
Оборудование
Оборудование

Установка ионно-лучевой полировки, травления, фрезеровки и нанесения покрытий (4 в 1) OPTO-EDU A50.7038

Характеристики

  • Производитель
    OPTO-EDU CO., LTD.
  • Страна
    Китай
  • Ионные пушки

    2 шт. диагональные
    (Опция): 4 шт. диагональные
    (Опция): 2 шт. под углом 90°

  • Источник ионов

    Ионы аргона
    (Опция): ионы ксенона

  • Скорость полировки

    До 500 мкм/ч для кремния (шлифовка или травление с фиксированной точкой)

    До 100 мкм/ч для кремния (плоскостное травление и полировка)

    До 10 мкм/ч для кремния (полировка плоскостным травлением)

  • Энергия ионного пучка

    0 ~ 6 кВ (полировка с низким энергопотреблением)

    0 ~ 10 кВ (высокоэнергетическое травление)

Информация о серии

Угол фрезерования

0°~90°

Пик плотности ионного тока

10 мА/см2

Контроль расхода газа

0~10мл/мин, регулируемый

Размер пятна луча

300 мкм~500 мкм и 1.5 мм~2.5 мм

Размер образца, мм

Ø0~Ø25

Столик для образца

Вращаемый 360°

Скорость вращения, об/мин

6-10

Насосная система

Механический насос + турбомолекулярный насос

Максимальная степень вакуума

5*10^-3 Па

Измерение вакуума

Цифровая система измерения вакуума

Время вакуумирования для замены образца, мин

2.5

Интерфейс

10” цветной сенсорный экран, встроенный компьютер и система программного обеспечения позволяют установить все параметры, а затем автоматически начать обработку. Систему можно просматривать и контролировать с удаленного компьютера или мобильного телефона.

Габариты, мм

380х405х560

Вес, кг

48

Потребляемая мощность

>1кВт

Электропитание

220В±10%

Аргон, psi

25

Смотрите также

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp